《真空科學與技術學報》于1981年創辦，全刊信息多卻有條有理，堅持打造交流思想和經驗共享的主流平臺，國內刊號為：11-5177/TB，創刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《真空科學與技術學報》刊載的論文的內容主要涉及如下學科：真空科學與技術、薄膜物理與工藝、表面及界面物理、應用表面科學、物理電子學、電子材料與處理、納米科學與技術、電真空技術、核真空技術及真空冶金等。本刊歡迎上述學科領域內的科研論文、研究報告、工藝研究、動態綜述、工業技術等稿件，對于開創性的發明、發現等新成果，將優先發表。
Ⅰ、您的稿件除正文外還應包含如下內容：郵編、詳細通聯地址、聯系電話、電子郵箱、作者簡介。
Ⅱ、基金項目：項目名稱、項目號。
Ⅲ、以最恰當、簡明的詞句反映論文、報告中的最重要的特定內容，題名應避免使用不常見的縮略語、首字母縮寫詞、字符、代號和公式等。一般字數不超過25字。
Ⅳ、參考文獻按在正文中出現的先后次序列于文后，其著錄格式依據GB/T7714—2015《信息與文獻參考文獻著錄規范》執行。
Ⅴ、論著應附中、英文摘要。中文摘要不超過400字，英文摘要與中文摘要相對應。摘要采用第三人稱撰寫，必須包括目的、方法、結果和結論四部分。
| 學者姓名 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 楊斌 | 83 | 真空蒸餾；真空；真空冶金；碳熱還原；真空碳熱... |
| 巴德純 | 69 | 磁控濺射；真空；故障診斷；抽氣；干泵 |
| 戴永年 | 67 | 真空蒸餾；真空；碳熱還原；真空冶金；鋰離子電... |
| 劉大春 | 49 | 真空蒸餾；提純；真空爐；真空冶金；真空 |
| 徐寶強 | 42 | 真空蒸餾；碳熱還原；真空爐；提純；真空碳熱還... |
| 陳長琦 | 42 | 真空；磁控濺射；模糊控制；真空干燥；NBI |
| 郭太良 | 40 | 量子點；場發射；電極；場致發射顯示器；導光板 |
| 陳強 | 35 | 原子層沉積；等離子體；大氣壓；類金剛石薄膜；... |
| 田修波 | 32 | 離子注入；等離子體；等離子體浸沒離子注入；磁... |
| 屠彥 | 31 | 放電特性；放電效率；PDP；蔭罩式PDP；放電單元 |
| 機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 163 | 濺射；磁控；光學；磁控濺射；納米 |
| 合肥工業大學 | 158 | 真空泵；真空；螺桿真空泵；納米；... |
| 東北大學 | 140 | 濺射；抽氣；磁控；磁控濺射；真空... |
| 中國科學院電子學研究... | 139 | 行波管；速調管；螺旋線；慢波；注... |
| 清華大學 | 118 | 濺射；磁控；磁控濺射；離子束；太... |
| 大連理工大學 | 118 | 等離子體；濺射；合金；磁控；磁控... |
| 西安交通大學 | 111 | 顯示器；等離子體顯示；等離子體顯... |
| 昆明理工大學 | 107 | 真空蒸餾；真空；碳熱還原；熱還原... |
| 浙江大學 | 106 | 磁控；磁控濺射；濺射；化學氣相；... |
| 蘭州空間技術物理研究... | 99 | 推力；推力器；光學；航天；月球 |
| 涉及文獻 | 資助項目 |
| 1297 | 國家自然科學基金 |
| 126 | 國家高技術研究發展計劃 |
| 122 | 國家重點基礎研究發展計劃 |
| 108 | 中央高校基本科研業務費專項資金 |
| 79 | 國家教育部博士點基金 |
| 44 | 中國博士后科學基金 |
| 41 | 國家科技重大專項 |
| 33 | 江蘇省自然科學基金 |
| 31 | 博士科研啟動基金 |
| 30 | 福建省自然科學基金 |
| 涉及文獻 | 資助課題 |
| 14 | 國家自然科學基金(U1202271) |
| 9 | 國家科技重大專項(2011ZX02403-004) |
| 9 | 國家教育部博士點基金(20095314110003) |
| 8 | 國家高技術研究發展計劃(2008AA03A313) |
| 8 | 國家自然科學基金(u0837604) |
| 8 | 國家自然科學基金(60571033) |
| 8 | 國家自然科學基金(61176062) |
| 8 | 國家自然科學基金(61106053) |
| 7 | 國家高技術研究發展計劃(2006AA03Z219) |
| 7 | 國家自然科學基金(50172042) |
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