《微細加工技術》于1983年創辦，全刊信息多卻有條有理，堅持打造交流思想和經驗共享的主流平臺，國內刊號為：43-1140/TN，創刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
Ⅰ、作者姓名的漢語拼音應姓前名后，姓氏全部字母為大寫，名字的首字母大寫，雙名中間不加連字符不間隔；漢語拼音的作者姓名寫在英文表示的工作單位之前；多位作者的署名之間以逗號隔開；不同單位的作者姓名右上角加注序號。
Ⅱ、來稿摘要應包含正文的目的、主旨、結論。
Ⅲ、編輯部實行稿件三審制，周期三個月。三個月后未接到本刊采用通知，稿件即可自行處理。請自留底稿，因人力與經費有限，來稿一律不退。
Ⅳ、文稿中的小標題請依次使用：一、二、三、……；（一）（二）（三）……；1.2.3.……；（1）（2）（3）……；①②③……。
Ⅴ、參考文獻應依照引用的先后順序標出，根據文獻類型與文獻載體代碼（GB 3469）規定，以單字母方式標識以下各種參考文獻類型。
| 學者姓名 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 蔡炳初 | 44 | 微機電系統；MEMS；微機械；形狀記憶合金；微驅... |
| 趙小林 | 37 | 微機電系統；MEMS；微機械；微機電系統技術；電... |
| 丁桂甫 | 27 | 微機電系統；MEMS；微機電系統技術；雙穩態；微... |
| 楊春生 | 20 | 電極；MEMS；微機電系統；壓電；微針 |
| 張玉林 | 20 | 電子束；電子束光刻；微機電系統；抗蝕劑；聚合... |
| 顧文琪 | 19 | 電子束曝光機；聚焦離子束；液態金屬離子源；電... |
| 馮伯儒 | 19 | 光刻；相移掩模；光刻系統；干涉光刻；光刻技術 |
| 姚漢民 | 18 | 光刻分辨力；投影光刻物鏡；原子束；光刻；光子... |
| 徐東 | 18 | 碳納米管；形狀記憶合金；微驅動器；納米；圖形... |
| 陳寶欽 | 17 | 電子束光刻；電子束曝光；電子束直寫；抗蝕劑；... |
| 機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機；電子束... |
| 上海交通大學 | 129 | 微機電系統；電系統；機電系統；ME... |
| 清華大學 | 60 | 微細；光刻；微細加工；離子束；聚... |
| 中國科學技術大學 | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；... |
| 電子工業部 | 46 | 離子注入；注入機；離子注入機；半... |
| 中國科學院微電子研究... | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝... |
| 中國科學院長春光學精... | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學 | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機；電子... |
| 山東工業大學 | 28 | 電子束曝光；曝光機；電子束曝光機... |
| 華中理工大學 | 26 | 刻蝕；濺射；半導體；等離子體；離... |
| 涉及文獻 | 資助項目 |
| 256 | 國家自然科學基金 |
| 65 | 國家高技術研究發展計劃 |
| 54 | 國家重點基礎研究發展計劃 |
| 17 | 國家教育部博士點基金 |
| 15 | 國家重點實驗室開放基金 |
| 13 | 山東省自然科學基金 |
| 11 | 中國科學院知識創新工程 |
| 10 | 中國博士后科學基金 |
| 8 | 上海市自然科學基金 |
| 8 | 中國科學院知識創新工程重要方向項目 |
| 涉及文獻 | 資助課題 |
| 13 | 國家自然科學基金(90307003) |
| 12 | 山東省自然科學基金(Y2003G03) |
| 7 | 國家重點基礎研究發展計劃(2003CB716204) |
| 7 | 國家自然科學基金(59671051) |
| 7 | 山東省科技攻關計劃(022090105) |
| 5 | 國家高技術研究發展計劃(2004AA404260) |
| 4 | 國家高技術研究發展計劃(2003AA404150) |
| 4 | 國家自然科學基金(10572078) |
| 4 | 國家自然科學基金(50275140) |
| 3 | 國家高技術研究發展計劃(2003AA404140) |
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