《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》不是綜述期刊
中科院分區(qū)（當(dāng)前數(shù)據(jù)版本：2023年12月升級版）
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中科院分區(qū)（當(dāng)前數(shù)據(jù)版本：2022年12月升級版）
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中科院分區(qū)（當(dāng)前數(shù)據(jù)版本：2021年12月舊的升級版）
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中科院分區(qū)（當(dāng)前數(shù)據(jù)版本：2021年12月基礎(chǔ)版）
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中科院分區(qū)（當(dāng)前數(shù)據(jù)版本：2021年12月升級版）
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中科院分區(qū)（當(dāng)前數(shù)據(jù)版本：2020年12月舊的升級版）
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名詞釋義：中科院分區(qū)是中國科學(xué)院國家科學(xué)圖書館制定，中科院分區(qū)目前分為基礎(chǔ)版和升級版（試行），基礎(chǔ)版先將JCR中所有期刊分為13大類學(xué)科，每個學(xué)科分類按照期刊的3年平均影響因子高低，分為4四個區(qū)；升級版將期刊分為18個大類學(xué)科，涵蓋數(shù)學(xué)、物理與天體物理、化學(xué)、材料科學(xué)、地球科學(xué)等大類學(xué)科；升級版設(shè)計(jì)了“期刊超越指數(shù)”取代影響因子指標(biāo)。期刊超越指數(shù)即本刊論文的被引頻次高于相同主題、相同文獻(xiàn)類型的其它期刊的概率。
雜志數(shù)據(jù)：
（1）該刊已被國際權(quán)威數(shù)據(jù)庫SCIE收錄。
（2）在中科院最新升級版分區(qū)表中，該刊分區(qū)信息為大類學(xué)科：工程技術(shù)4區(qū)，小類學(xué)科：工程：電子與電氣 4區(qū)；納米科技 4區(qū)；物理：應(yīng)用 4區(qū)；
（3）
（4） Gold OA文章占比：0.00%， 研究類文章占比：0.00%， OA開放訪問： 未開放 。
影響因子:6.1
影響因子:6.4
