電子工業專用設備雜志是部級期刊。
電子工業專用設備雜志基本信息
《電子工業專用設備》于1971年創辦，全刊信息多卻有條有理，堅持打造交流思想和經驗共享的主流平臺，國內刊號為：62-1077/TN，創刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《電子工業專用設備》是目前國內電子專用設備領域唯一獲正規出版發行的權威專業刊物，多年來為推動我國電子專用設備的發展發揮了極其重要的作用。
雜志主要發文機構有哪些？發文量分別是多少？
| 機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 中國電子科技集團公司第四十五研究所 | 646 | 半導體；光刻；晶圓；電機；拋光 |
| 中國電子科技集團公司第二研究所 | 229 | 真空；電池；低溫共燒陶瓷；太陽能；封裝 |
| 中國電子科技集團公司第四十八研究所 | 168 | 電池；太陽能電池；太陽能；均勻性；離子注入 |
| 中國電子科技集團公司第四十六研究所 | 118 | 單晶；硅單晶；硅片；晶片；區熔 |
| 電子工業部 | 115 | 半導體；光刻；曝光機；切片；切片機 |
| 北京中電科電子裝備有限公司 | 92 | 晶圓；劃片；劃片機；鍵合；封裝 |
| 中華人民共和國工業和信息化部 | 75 | 光刻；電路；電子專用設備；集成電路；半導體 |
| 中國電子科技集團公司 | 68 | 電路；集成電路；化學機械拋光；機械拋光；晶片 |
| 中國電子科技集團第十三研究所 | 66 | 光刻；刻蝕；激光；光刻機；投影光刻 |
| 中國科學院 | 54 | 光刻；光刻機；電路；半導體；電子束曝光 |
| 主題名稱 | 發文量 | 相關發文學者 |
| 半導體 | 1260 | 翁壽松；童志義；謝中生；程開富；柳濱 |
| 電路 | 448 | 鮮飛；李慶祥；薛實福；李習周；唐德興 |
| 封裝 | 436 | 童志義；楊建生；鮮飛；王春青；賈松良 |
| 芯片 | 362 | 翁壽松；侯一雪；鮮飛；曹國斌；王仲康 |
| 集成電路 | 349 | 李慶祥；薛實福；李習周；唐德興；鮮飛 |
| 晶圓 | 345 | 胡曉霞；翁壽松；周國安；譚立杰；高津平 |
| 光刻 | 315 | 童志義；胡松；翁壽松；李毅杰；張文雅 |
| 半導體設備 | 260 | 翁壽松；尚美杰；趙立華；張世恩；童志義 |
| 太陽能 | 171 | 賈京英；唐超凡；王娟；陳特超；顏秀文 |
| 半導體產業 | 166 | 翁壽松；杜玉春；路松杯；俞忠鈺；陽春 |
